最後更新:2026年10月23日封膠設備(Molding)

Fico Molding Line的特點與規格

Besi・封膠設備(Molding)

以晶圓與大型面板為對象的轉注成型系統。包覆成型(overmold)與裸晶外露產品可用同一套模具配置成型。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Fico Molding Line(FML)是 Besi 的轉注成型(Transfer Molding)設備。包覆成型與裸晶外露(exposed die)產品可用同一配置處理,實現無需後處理的無溢膠(bleed-free)成型。

可處理最大 305mm(12 吋)晶圓與 300×340mm 面板,在元件之間的狹窄通道中支援低至 100µm 的間隙尺寸,也能有效處理極低黏度的膠材。模穴溫度均勻性為 ±3°C,並以基板・模穴・膜材的真空系統製作無空洞(void)的產品。

合模力最大 1,200kN,轉注壓力最大 180bar,產能為每台壓機每小時 10 個載具。以動態夾持防止晶圓或晶粒破裂,並以模具一體化的去膠口(degate)功能減少工序。用於覆晶・晶圓級封裝、裸晶外露型扇出、模封底部填充及微型 SiP 的封裝。

主要規格

成型方式轉注成型
適用工件最大 12 吋(305 mm)晶圓・300 × 340 mm 面板
特點支援充填高度 100 µm・晶粒間隙 50 µm
主要用途晶圓級・面板級封裝

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

包覆成型/裸晶外露同一配置,無溢膠
晶圓 305mm・面板 300×340mm
合模力 1,200kN,模穴溫度均勻性 ±3°C
基板・模穴・膜材的真空系統

主要用途

  • 覆晶・晶圓級封裝的封膠
  • 模封底部填充・微型 SiP

製造商

Besi(總部:荷蘭)

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資料來源

  1. Besi 官方產品頁面:Besi Fico Molding Line