荏原製作所（EBARA）
日本的流體機械大廠，半導體事業以化學機械研磨（CMP）設備與乾式真空幫浦為兩大支柱。台灣子公司「台灣荏原精密」設於台北，負責半導體產品的銷售與售後服務。
基本資料
- 原文名稱
- 荏原製作所 / EBARA
- 業務領域
- CMP 設備・真空幫浦・尾氣處理設備
- 分類
- 半導體設備
公司概要
荏原製作所總部位於東京都大田區，以幫浦起家。精密機械事業提供 CMP 設備、乾式真空幫浦與尾氣處理（除害）設備，從晶圓平坦化到廠務排氣都有產品。
台灣子公司 EBARA Precision Machinery Taiwan（台灣荏原精密）位於台北市中正區，負責半導體相關產品的銷售與售後服務，2020 年曾獲南亞科技頒發「Outstanding FE Tool Supplier Award」。
在台據點
- 台灣荏原精密（EBARA Precision Machinery Taiwan）地點：台北半導體相關產品的銷售與售後服務
主力產品與服務
- CMP 設備（300mm 化學機械研磨系統）
- 乾式真空幫浦
- 尾氣處理設備（除害裝置）
台灣讀者的觀察重點
- 多層金屬導線與先進封裝的混合鍵合都需要高度平坦的表面，CMP 是先進製程與先進封裝共同的關鍵步驟。
- 真空幫浦與尾氣處理屬於廠務端設備，新建晶圓廠時需要大量導入。
相關用語解說
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最後更新：2026-10-06