F-REX300X 是荏原製作所 CMP 設備 F-REX 型的 300mm 標準機。為設置於無塵室的 CMP 設備，具備在市場上累積實績的可靠度與製程性能，可依需求規格採取多樣的設備配置。
最大特點是雙模組方式。製程腔體之間沒有交叉汙染，即使一側模組停止，也能自動切換到另一側繼續運轉，因此在維護或故障時也不必停止整台設備。
1台即可處理多道製程，因此不僅量產，也能組成適合實驗・開發用途的配置。後繼機種 F-REX300XA 承襲此結構，並進一步最佳化傳送與處理片數。
F-REX300X的特點與規格
荏原製作所（EBARA）・金屬 CMP 設備
荏原製作所 CMP 設備 F-REX 型的標準機。在 300mm 產線擁有採用實績，可因應從金屬膜到阻障金屬層的多段研磨。
產品概要
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
|---|---|
| 研磨頭數 | 4 |
| 研磨轉盤數 | 4 |
| 清洗單元數 | 6 |
| 主要用途 | Cu・W・阻障金屬層的研磨 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
雙模組方式（一側停止時也自動繼續運轉）
製程腔體之間無交叉汙染的結構
支援乾進乾出（dry-in／dry-out）、多段化學品清洗
研磨終點偵測監控器・線上膜厚量測器（選配）
主要用途
- Cu・W・阻障金屬層等金屬 CMP
- 以1台處理多道製程的量產・開發產線
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣荏原精密（EBARA Precision Machinery Taiwan）（台北）：半導體相關產品的銷售與售後服務