EV-M型

反応副生成物が出る高負荷プロセスに向けた荏原のドライ真空ポンプ。耐食材料を標準で搭載する。

EV-M型とは

EV-M 型は、荏原製作所の省エネルギーと高負荷プロセスに向いたドライ真空ポンプです。半導体・液晶・太陽電池の製造工程のうち、反応副生成物が発生する高負荷のプロセスに、荏原独自の高温化技術で対応します。

高い省エネ性能で、高負荷プロセスへの対応と省エネルギーを同時に実現しました。耐腐食性の材料を標準で採用し、耐腐食性を高めるオプションもあります。オイルフリーで、50Hz と 60Hz で同じ性能を出せ、CE マーキング、SEMI-S2、NRTL にも対応できます。

ラインアップは、排気速度 1,800L/min の EV-M20N から、10,000〜80,000L/min の機種、最大 110,000L/min の EV-M1205SF までそろえています。到達圧力は 0.5Pa（EV-M20N は 5Pa）です。プロセス条件に応じて、幅広い高負荷プロセスに対応できます。

主な特長

•独自の高温化技術で高負荷プロセスに対応
•高い省エネ性能
•耐腐食性材料を標準採用、オイルフリー
•排気速度 1,800〜110,000L/min

主な仕様

方式	ドライ真空ポンプ（回転速度制御）
特徴	省エネ運転・最大排気量 110,000 L/min モデルあり
シリーズ構成	EV-M 型／EV-X 型
主要用途	エッチング・CVD・拡散

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

ドライ真空ポンプ：3機種の比較

項目	Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）iXH Mk2	荏原製作所EV-M型	樫山工業NeoDry G シリーズ
方式	ルーツ式ドライポンプ	ドライ真空ポンプ（回転速度制御）	空冷ドライ真空ポンプ
特徴	入力電力 1.3 kW（前世代比 60% 減）・粉体処理機能	省エネ運転・最大排気量 110,000 L/min モデルあり	静音性・水蒸気処理能力を NeoDry-E から向上
シリーズ構成	iXM／iXH／iXL	EV-M 型／EV-X 型	NeoDry-E（7E ～ 300E）／NeoDry-G
主要用途	多層エッチング・CVD（腐食性ガス）	エッチング・CVD・拡散	半導体・電子部品などの真空排気