Atlas™ シリーズ
内向き燃焼（Alzeta インワードファイアード）と湿式スクラブを組み合わせた Edwards の燃焼式ガス除害装置。
Atlas シリーズとは
Atlas シリーズは、Edwards の燃焼式の排ガス除害装置です。半導体製造で使う有害ガスや地球温暖化ガス（PFC）を、装置の近く（ポイントオブユース）で燃焼して無害化します。
1994年から世界標準となっている内向き燃焼（inward-fired）の燃焼器技術を使います。燃焼温度が均一で、処理ガスがチャンバー壁に触れないため、閉塞を最小限に抑えられます。独自の燃焼器材料で耐食性にも優れます。
用途別に、CVD の NF₃／F₂ 向けの Atlas TCS、CVD の ClF₃・C₂F₆・C₃F₈ などの PFC 向けの Atlas TPU、次世代の Low-k CVD 向けの Atlas Kronis、CF₄・SF₆ などのエッチング向けの Atlas Etch、エピタキシーや MOCVD の水素向けの Atlas Helios があります。除害効率は NF₃・F₂ で 99% 超、CF₄ で 90% 超、そのほかの PFC で 99% 超です。
主な特長
- •内向き燃焼の燃焼器（1994年から世界標準）
- •用途別モデル（TCS・TPU・Kronis・Etch・Helios）
- •流量最大 1,200slm、入口 1〜6
- •NF₃・F₂ 99% 超、CF₄ 90% 超の除害効率
主な仕様
| 処理方式 | 燃焼式＋湿式スクラブ |
|---|---|
| 処理能力 | 入口 1 ～ 6・最大 1,200 slm |
| シリーズ構成 | Atlas TCS（CVD）／TPU（PFC）／Kronis（low-k）／Etch／Helios（水素） |
| 主要用途 | CVD・エッチング・エピ・MOCVD の排ガス処理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）Atlas™ シリーズ | 荏原製作所TND-Single型／TND-Single Plus型 | カンケンテクノKT1000 シリーズ |
|---|---|---|---|
| 処理方式 | 燃焼式＋湿式スクラブ | 燃焼式＋水処理式（Plus は水処理＋燃焼＋水処理） | 電気加熱式（非燃焼） |
| シリーズ構成 | Atlas TCS（CVD）／TPU（PFC）／Kronis（low-k）／Etch／Helios（水素） | TND 型／GCR 型（触媒式・PFC）／GT 型（乾式）／G6-E 型（大流量水素・塩素） | KT1000 シリーズ |
| 主要用途 | CVD・エッチング・エピ・MOCVD の排ガス処理 | 半導体製造工程の有害ガスの無害化 | 半導体・液晶工場の排ガス処理（アジアで約 5,000 台） |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 処理能力 | 入口 1 ～ 6・最大 1,200 slm | — | — |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •CVD・エッチングの排ガス除害
- •エピ・MOCVD の水素処理
掲載カテゴリ
Atlas シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。