Aeris-Si的特點與規格

Aeris-Si 是應用材料面向次廠房（sub-fab）的管路（前級管路，foreline）清潔設備。處理使用 TEOS（四乙氧基矽烷）的薄膜沉積所產生的二氧化矽（SiO₂）粉末，延長真空幫浦的壽命。

在幫浦入口前捕集二氧化矽粉末，以 NF₃ 電漿將固體 SiO₂ 轉為對幫浦友善的 SiF₄ 氣體，藉此防止固體物在幫浦內累積。

在高流量 TEOS 製程中，可將幫浦壽命從 1 個月延長到 10 個月以上。廠商表示稼動率提升 7% 以上，投資約 8 個月即可回收。不影響晶圓的認證資料。