尾氣處理設備（Abatement）是什麼
尾氣處理設備（abatement system）是在半導體製造製程中產生的有害副產物與未反應氣體排放至大氣前，將其無害化的環境・安全設備。有燃燒分解型（POU Combustion）、電漿分解型、濕式吸收型、觸媒氧化型等方式，依處理對象氣體的種類（PFC・矽烷・鹵素系氣體・有機物）區分使用。PFC（全氟碳化物）氣體的全球暖化潛勢（GWP）極高，減少排放已成為半導體廠商因應環境法規的義務。在各製造設備排氣出口設置的 POU（Point-of-Use）方式為主流，處理效率、能源消耗與營運成本之間的平衡是設備選型的重要指標。對 EHS（環境・健康・安全）法規遵循與降低營運成本兩方面都有貢獻。
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