Aeris-S的特點與規格

Aeris-S 是應用材料的尾氣處理設備，專為最容易髒汙的用途設計。在腔體與粗抽幫浦之間進行電漿處理，將難處理的物質轉為容易輸送且安全的化合物，再送往幫浦後段的尾氣處理設備。

在排氣固化並堆積於管路或幫浦之前就加以處理，可防止堵塞、幫浦故障、保養時的危險與非計畫停機。具備以磁場侷限的電容耦合電漿源，以及在沉積中收集固體物、於腔體清潔時去除的獨家捕集器。

與 Aeris-G 相同，可收納在各腔體的幫浦空間內，只要連接電源・冷卻水・潔淨氣體即可整合到既有的排氣管路。也具備資料收集與報告功能。