Aeris-G 是應用材料的電漿式尾氣處理設備。設置在腔體與真空幫浦之間（幫浦前段），以電漿分解 PFC、NF₃、SF₆ 等全球暖化潛勢高的氣體。
幫浦後段的尾氣處理設備處理的是被大量氮氣稀釋的氣體，而 Aeris-G 處理的是濃度高、量少的製程氣體本身，因此所需能量較少。由於採電漿分解且氮氣少，NOx 排放幾乎為零。只在腔體處理時運轉的隨需運轉，也能壓低運轉成本。
可收納在各腔體的幫浦安裝空間內，也能加裝到既有的排氣管路。處理效率 CF₄ 超過 95%，SF₆・CHF₃・C₃F₈・NF₃・C₄F₈ 超過 99%。已售出 4,000 台以上，稼動率超過 99.9%。