MLA 300 是 Heidelberg Instruments 的量產用無光罩對準曝光機。不使用光罩,以雷射直接在光阻上描繪圖形,因此不需製作光罩,也能立即因應設計變更。最小線寬 1.5µm,針對工業規模的生產最佳化。
可對應最大 315×315mm、厚度 0.1~10mm 的基板。光源為壽命長的高功率二極體雷射,可從 375nm(7W)與 405nm(20W)中選擇。
300×300mm 區域的曝光時間,以 Write Mode II(最小 1.5µm)搭配 2 組曝光模組為 10 分鐘,以 Write Mode III(最小 3µm)為 5 分鐘。2 組曝光模組可達最高 9,000mm²/分的描繪速度。用於先進封裝、感測器、MEMS、探針卡、電力電子等。