UVISEL Plus 是堀場製作所（HORIBA）的光譜橢圓偏光儀。這是量測偏光狀態變化以求出薄膜膜厚與光學常數的設備，特點是波長範圍寬廣，從遠紫外到近紅外達 190～2,100nm。
採用相位調變技術，以 50kHz 的高頻、在無機械可動部件的情況下量測偏光變化。可獲得比旋轉元件型橢圓偏光儀更高的精度，量測精度為 Ψ=45°±0.01°、Δ=0°±0.01°。每點最快 50 毫秒取得資料，可量測 1Å 至 50µm 的薄膜。
可評估膜厚與光學常數（n, k）、表面・界面粗糙度、吸收係數與能隙、穆勒矩陣與去偏振等。除了桌上型使用外，也採用可原位整合至製程腔體或支援捲對捲（roll-to-roll）的模組式構成，用於半導體、平面顯示器、太陽能電池與材料研究。