橢圓偏光儀是什麼

橢圓偏光儀是量測試片表面反射光的偏振狀態變化（振幅比 Ψ 與相位差 Δ），以非接觸方式求得薄膜膜厚與光學常數（折射率 n・消光係數 k）的量測設備。光譜橢偏術透過分析寬波長範圍的光譜，可分離出多層膜中各層的厚度，甚至界面層。它用於閘極介電層、光阻、抗反射膜等需要次奈米精度的薄膜管理，而分析模型的準確度決定了量測結果的可信度。

重點整理

從反射光的偏振變化，以非接觸方式求得膜厚與光學常數
光譜橢偏術可分離多層膜各層厚度乃至界面層
用於閘極介電層・光阻・抗反射膜的次奈米級管理
分析模型是否妥當，決定量測值的可信度

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