RE-3500的特點與規格

RE-3500 是 SCREEN 的橢偏式膜厚量測設備。是支援 IoT 用電子元件的量測設備。

以微光點光學系統，高精度量測 40µm 見方的小區域。以新開發的光學頭，實現以往 2 倍的產能。

搭載光譜橢圓偏光儀，可同時量測膜厚與光學常數，適合膜質管理重要的製程、薄膜材料開發與成膜製程開發。以選配的單波長橢圓偏光儀，20nm 以下的超薄膜也能高精度量測。光源使用長壽命的雷射二極體，降低運轉成本。