UVISEL Plusとは
UVISEL Plus は、HORIBA の分光エリプソメーターです。偏光状態の変化を測って薄膜の膜厚や光学定数を求める装置で、波長範囲は遠紫外から近赤外までの 190〜2,100nm と広いのが特長です。
位相変調技術を使い、偏光の変化を 50kHz の高周波で、機械的な可動部なしに測定します。回転素子型のエリプソメーターより高い精度を得られ、測定精度は Ψ=45°±0.01°、Δ=0°±0.01° です。1点あたり最短 50 ミリ秒でデータを取得し、1Å から 50µm までの膜を測れます。
膜厚と光学定数（n, k）、表面・界面の粗さ、吸収係数やバンドギャップ、ミュラー行列や偏光解消などを評価できます。卓上での使用のほか、プロセスチャンバーへのその場組み込みやロール・ツー・ロールにも対応するモジュール構成で、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、材料研究に使われます。
主な特長
- •波長範囲 190〜2,100nm（FUV〜NIR）
- •位相変調方式（50kHz、可動部なし）
- •1Å〜50µm の膜厚に対応
- •その場計測にも組み込めるモジュール構成
主な仕様
| 測定方式 | 位相変調型分光エリプソメトリー |
|---|---|
| 波長範囲 | 190 ～ 2,100 nm |
| 特徴 | 入射角 40 ～ 90° 可変・マイクロスポット 50 µm・3 分で全波長測定（FastAcq） |
| 主要用途 | 薄膜の膜厚・光学定数測定 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 堀場製作所UVISEL Plus | 大塚電子FE-5000 シリーズ |
|---|---|---|
| 測定方式 | 位相変調型分光エリプソメトリー | 回転補償子型分光エリプソメトリー |
| 特徴 | 入射角 40 ～ 90° 可変・マイクロスポット 50 µm・3 分で全波長測定（FastAcq） | 測定角度自動可変・位相差板自動着脱 |
| 主要用途 | 薄膜の膜厚・光学定数測定 | 各種薄膜の高精度解析 |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 波長範囲 | 190 ～ 2,100 nm | — |
|---|---|---|
| 関連機種 | — | FE-5000S（卓上型） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •薄膜の膜厚・光学定数の評価
- •半導体・FPD・太陽電池の研究開発
掲載カテゴリ
UVISEL Plusは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
堀場製作所
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06