Millios 是 Mattson Technology 的毫秒退火系統。採用獨家的水冷壁氬弧光燈技術，以毫秒為單位加熱晶圓表面。即時量測並控制晶圓正面與背面的溫度。
動作溫度為 250～1,050°C，可進行最高 600°C 的溫度跳升。支援 0.2～0.9 的廣泛晶圓放射率，可調整毫秒脈衝的時間，也支援結合尖峰退火與閃光的處理。以毫秒級溫度控制與最佳化的傳送管理晶圓應力，防止破片。
廠商將其定位為極淺接面形成、High-k 材料鈍化、金屬矽化物形成的最佳技術解決方案。用於電晶體製造的源極／汲極退火、HALO 退火、鎳・鈦矽化物形成，以及下一代 DRAM 的製造。