LA-3100的特點與規格

LA-3100 是 SCREEN Semiconductor Solutions 的閃光燈退火設備。從瞬間發光的氙氣閃光燈照射數毫秒的光，使晶圓表面溫度高速升降。

由於能以低熱預算（熱履歷）進行熱處理，可在高度活化佈植於源極・汲極之雜質的同時，精密控制其濃度分布。定位為對改善最先進元件特性有重大貢獻的設備。

由於以單晶圓方式處理晶圓，可在嚴格管理的低氧氣氛中退火。在對晶圓全面進行毫秒級控制之熱處理的同時，也搭載實測加熱照射中晶圓溫度的功能，從研發階段起便容易掌握・釐清與溫度相關的物理現象。