最後更新:2026年10月23日探針卡

U-Probe的特點與規格

日本麥克隆尼(Micronics Japan)・探針卡

採用獨家 MEMS 微懸臂樑,可一次接觸量測整片晶圓的日本麥克隆尼(Micronics Japan)探針卡。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

U-Probe 是日本麥克隆尼(Micronics Japan)的記憶體用探針卡。結合以獨家 MEMS 技術開發的微懸臂樑型 MEMS 探針,以及薄膜多層線路基板的製造技術。

專為同時測試 12 吋晶圓上大量 DRAM 與快閃記憶體晶粒而設計。1 張探針卡可對應約 2,500 個 DUT,搭載約 20 萬根針。可在 1 次觸壓(touchdown)中測試整片 12 吋晶圓。

具備能充分發揮測試機資源的高效元件排列,以及提升良率的最佳連接性。另有不使用印刷電路板、將附 MEMS 探針的薄膜多層基板直接對接測試機的輕量・低成本無 PCB 版本。

主要規格

探針方式MEMS 微懸臂樑
適用元件記憶體(12 吋全片一次・約 2,500 DUT)
相關產品MEMS-SP/MEMS-V
主要用途記憶體的晶圓測試

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

MEMS 微懸臂樑探針
約 2,500 DUT・約 20 萬針
1 次觸壓測試整片 12 吋晶圓
無 PCB 版本(輕量・低成本)

主要用途

  • DRAM・快閃記憶體的晶圓測試

製造商

日本麥克隆尼(Micronics Japan)(總部:日本)

所屬設備分類

相關用語

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資料來源

  1. 日本麥克隆尼(Micronics Japan)官方產品頁面:U-Probe