U-Probe 是日本麥克隆尼(Micronics Japan)的記憶體用探針卡。結合以獨家 MEMS 技術開發的微懸臂樑型 MEMS 探針,以及薄膜多層線路基板的製造技術。
專為同時測試 12 吋晶圓上大量 DRAM 與快閃記憶體晶粒而設計。1 張探針卡可對應約 2,500 個 DUT,搭載約 20 萬根針。可在 1 次觸壓(touchdown)中測試整片 12 吋晶圓。
具備能充分發揮測試機資源的高效元件排列,以及提升良率的最佳連接性。另有不使用印刷電路板、將附 MEMS 探針的薄膜多層基板直接對接測試機的輕量・低成本無 PCB 版本。