Nova PRISM 是 Nova 的光學式 CD（OCD）量測平台，結合光譜橢圓偏光術、光譜反射率量測與光譜干涉量測 3 種技術。
核心的光譜干涉量測（SI）被定位為擴展傳統 OCD 能力的技術。透過從多個通道取得的完整光譜資訊提高量測的穩健性，實現不易受製程變異影響的量測。通道可依用途選擇。
結合物理建模的 Nova MARS 與機器學習的 Nova Fit 演算法，最佳化量測性能與生產力。以新平台與光學設計具備量產所需的產能，並採用能因應未來技術演進的模組化設計。用於採用奈米片的先進邏輯、DRAM、3D NAND。