Aspect的特點與規格

Aspect 是 Onto Innovation 的線上、非破壞式紅外光學 CD（IRCD）設備。可量測高深寬比結構 Z 方向（深度方向）的輪廓，實現關鍵製程的管理。特點是速度快、製程涵蓋範圍廣。

在密度與功耗持續微縮之際，以 3D NAND、3D DRAM 等先進記憶體為中心，高深寬比（HAR）製程已用於許多元件。Aspect 即是著眼於這類結構與微縮策略而設計。

以獨家的 IRCD 系統可量測完整輪廓，並已在多家客戶的元件上展現優異性能。