光學關鍵尺寸量測設備（OCD）是什麼

光學關鍵尺寸量測設備（OCD／散射量測）是對週期性圖案照射光，將所得反射光譜與光學模型計算出的理論光譜比對，以非破壞方式求得線寬、高度、側壁角等剖面形狀的量測設備。CD-SEM 以高解析度量測從上方看到的尺寸，而 OCD 可一次高速取得 3D 形狀參數，因此適合 FinFET 鰭片高度與深溝槽形狀的管理。量測精度取決於光學模型是否妥當。

重點整理

比對反射光譜與光學模型，以非破壞方式量測剖面形狀
不只線寬，還能同時取得高度・側壁角等 3D 參數
適合 FinFET 鰭片高度與深溝槽的形狀管理
量測精度取決於所建立光學模型的妥當性

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