ノヴァ・メジャリング・インスツルメンツ（Nova）／光学式寸法測定装置（OCD）

Nova PRISM

分光干渉法（SI）で位相情報を加えた光学式 CD 計測プラットフォーム。機械学習によるモデリングを組み合わせる。

Nova PRISMとは

Nova PRISM は、Nova の光学式 CD（OCD）計測プラットフォームです。分光エリプソメトリー、分光反射率測定、分光干渉計測の3つの技術を組み合わせています。

中核となる分光干渉計測（SI）は、従来の OCD の能力を広げる技術と位置づけられています。複数のチャンネルから得る包括的なスペクトル情報で計測の堅牢性を高め、プロセスばらつきに強い計測を実現します。チャンネルは用途に合わせて選べます。

物理モデリングの Nova MARS と、機械学習の Nova Fit アルゴリズムを組み合わせ、計測性能と生産性を最適化します。新しいプラットフォームと光学設計で量産に必要なスループットを持ち、将来の技術進化にも対応できるモジュール設計です。ナノシートを使う先端ロジック、DRAM、3D NAND に使われます。

主な特長

•分光エリプソ・分光反射・分光干渉の3技術
•Nova MARS（物理モデル）と Nova Fit（機械学習）
•量産向けの高スループットとモジュール設計

主な仕様

測定方式	分光干渉＋分光反射＋分光エリプソメトリー
測定項目	CD・形状（弱い感度のパラメータを含む）
主要用途	成膜・エッチング工程のインライン管理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLASpectraShape™ 12k	Onto InnovationAtlas® V	ノヴァ・メジャリング・インスツルメンツ（Nova）Nova PRISM
測定方式	分光エリプソメトリー＋反射率（多入射角・偏光）	DUV 4×4 ミュラー行列 SE＋偏光垂直入射反射率	分光干渉＋分光反射＋分光エリプソメトリー
測定項目	CD・メタルゲートリセス・側壁角・レジスト高さ・ピッチウォーキング	CD・埋もれ構造・GAA のナノワイヤ個別寸法	CD・形状（弱い感度のパラメータを含む）
主要用途	先端ロジック・メモリの寸法管理	GAA・3D NAND・DRAM の工程管理	成膜・エッチング工程のインライン管理
関連機種	SpectraShape 11k／10K	Atlas G6（次世代機）	—