SpectraShape 12k 是科磊（KLA）的光學式 CD（OCD）・形狀量測系統。在最先進的設計節點中，綜合評估並監控奈米片、finFET、DRAM、垂直堆疊的 NAND 結構等積體電路複雜形狀的關鍵尺寸（CD）與三維形狀。
OCD 是將光照射在圖形上，把所得光譜與模型比對，以求出尺寸與形狀的方法。SpectraShape 12k 以光學技術的重大進展與專利演算法，擷取各種製程層中重要元件參數的細微變動。
對象參數包括 CD、High-k 與金屬閘極的凹陷、側壁角度、光阻高度、硬遮罩高度、節距偏移（pitch walking）、元件上的疊對等。藉由載台的改良與新的量測功能，支援先進邏輯與記憶體的量產管理。