PC-300的特點與規格

PC-300 是 SAMCO 的平行平板型電漿清洗機，用於半導體封裝基板、光學零件、生技・醫療用產品的乾式清洗與表面改質。機身精巧，不受安裝場所限制。

只要將電極層架翻轉，即可切換 RIE（反應性離子蝕刻）與 PE（電漿蝕刻）2 種處理模式，可依基板種類・形狀・目的選擇處理方式。

支援觸控面板操作的自動運轉與製程配方儲存（最多 100 組配方），並具備各種連鎖保護與異常偵測功能。選配可追加電極層架（RIE 模式最多 2 層處理）、防止金屬汙染的石英罩與資料記錄機構。