PC-300とは
PC-300 は、サムコの平行平板型プラズマクリーナーです。半導体実装基板、光学部品、バイオ・医療用製品のドライ洗浄と表面改質に向けた装置で、コンパクトなため設置場所を選びません。
RIE（反応性イオンエッチング）と PE（プラズマエッチング）の 2 種類の処理モードを、電極棚を反転させるだけで切り替えられます。基板の種類・形状・目的に応じて処理を選べます。
タッチパネル操作による自動運転とプロセスレシピの保存（最大 100 レシピ）に対応し、各種インターロックと異常検知機能を備えます。オプションで電極棚の追加（RIE モードで最大 2 段処理）、金属汚染を防ぐ石英カバー、データロギング機構を選べます。
主な特長
- •RIE／PE の処理モードを電極棚の反転で切り替え
- •タッチパネルの自動運転と最大 100 レシピの保存
- •インターロックと異常検知による安全な運用
主な仕様
| 方式 | 平行平板型（RIE／PE 切替） |
|---|---|
| レシピ | 最大 100 レシピを保存 |
| 主要用途 | BGA・CSP・リードフレームの洗浄・表面改質 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
プラズマクリーナー：2機種の比較
| 項目 | NordsonMARCH FlexTRAK®-SHS | サムコ（SAMCO）PC-300（プラズマクリーナー） |
|---|---|---|
| 方式 | インライン自動プラズマ処理（F3-S チャンバー） | 平行平板型（RIE／PE 切替） |
| 主要用途 | ダイアタッチ・ワイヤボンド・モールド・アンダーフィル前の処理 | BGA・CSP・リードフレームの洗浄・表面改質 |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 対象 | リードフレーム・キャリア・ボート・ストリップ・ラミネート基板 | — |
|---|---|---|
| レシピ | — | 最大 100 レシピを保存 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •BGA・CSP などのプラスチックパッケージ、リードフレームの洗浄・表面改質
- •LED パッケージの銀の酸化防止
- •8 インチウェーハまでのフォトレジストのアッシング
掲載カテゴリ
PC-300は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
サムコ（SAMCO）
プラズマエッチング・CVD・表面処理装置の専業メーカー。化合物半導体（GaN・SiC・GaAs）やMEMS・パワー・光デバイス向けの薄膜・微細加工プロセスに強みを持つ。
プラズマクリーナー（後工程）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-19