centrotherm international

熱処理・拡散炉・酸化炉の専業装置メーカー。半導体前工程のドーパント活性化・ゲート酸化・アニール工程に対応し、太陽電池製造装置でも高い実績を持つ。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の熱処理カテゴリでは、拡散炉・管状炉を中心とした高温プロセス装置メーカーとして、太陽電池と半導体の両分野にまたがる成膜・酸化工程を支える立場にあります。

企業の強み

拡散炉・管状炉で豊富な製品ラインナップ

太陽電池製造と半導体の両分野に対応

高温プロセス技術の深い専門知識

主要製品・ソリューション

熱処理装置

•c.FIRE diffusion furnace
•c.BLUE oxidation furnace

太陽電池装置

•c.SCREEN
•c.DIFF

関連装置カテゴリ

熱処理装置

熱処理装置は、半導体ウェハを高温（200〜1100°C程度）に加熱して、不純物の活性化・酸化膜形成・シリサイド形成・アニール（結晶欠陥回復）などの熱反応を行う前工程の重要装置群です。

メーカー 6 社拡散炉

拡散炉（Diffusion Furnace）は、複数のウェハ（数十〜百枚以上）を石英管内に並べ、高温（600〜1200°C）の雰囲気ガス中で同時に熱処理するバッチ式熱処理装置です。

メーカー 6 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、centrotherm internationalを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

拡散炉とは→熱酸化とは→アニール（熱処理）とは→イオン注入とは→

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