ニッパツ（日本発条）
自動車用ばねの大手で、産業機器分野では半導体製造装置向けのプロセス部品を製造。成膜装置やエッチング装置でウェハを均一に加熱・冷却するヒーターや冷却板、ガスを散布するシャワーヘッドなどを、伊勢原・宮田の工場で生産している。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiのヒーターユニットカテゴリでは、成膜・エッチング装置向けのヒーターや冷却板を手がける国内の部品メーカーとして参照されます。
企業の強み
成膜・エッチング装置向けヒーターと冷却板
ガス散布用のシャワーヘッド
精密加工と接合技術を生かした半導体プロセス部品の量産
主要製品・ソリューション
半導体プロセス部品
- •ヒーター
- •冷却板
- •シャワーヘッド
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ニッパツ（日本発条）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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