ヒータユニット・温度モニタメーカー8社
ヒータユニット・温度モニタは、チャンバやサセプタを加熱し、その温度を測定・制御する部品群です。拡散炉では抵抗発熱体を多ゾーンに分けて縦方向の温度分布を作り込み、枚葉装置ではセラミックヒータがウェハを面内均一に加熱します。温度測定には熱電対のほか、非接触で応答が速い放射温度計が使われ、RTPのように秒単位で昇温する装置では測温の応答性そのものが制御精度を決めます。発熱体の材質は使用温度と雰囲気ガスへの耐性で選定されます。
主要特徴
メーカー
8社の主要メーカー
ジェイテクトグループの熱処理装置メーカー。半導体向けの縦型拡散炉・横型拡散炉、ランプアニール装置などを供給し、酸化膜形成や不純物拡散、活性化アニールの工程を支える。
- •縦型・横型の拡散炉を自社で設計製造
- •ランプ加熱による急速熱処理（RTP）に対応
熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。
- •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
- •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
白金族金属（ルテニウム・イリジウム・オスミウム）のスパッタリングターゲット・触媒材料の専業メーカー。次世代半導体配線材料として注目されるルテニウム（Ru）ターゲットで世界的なシェアを誇り、先端ロジックの配線技術革新を支える。
- •ルテニウム・イリジウムターゲットで世界トップシェア
- •次世代Ru配線用材料の先行供給体制
工業用・産業用電気ヒーターの専業メーカー。カートリッジヒーターやシーズヒーター、面状ヒーターに加え、温度制御機器と熱電対を組み合わせた加熱ユニットを供給する。
- •電熱専業として長い歴史を持つ
- •ヒータ・温調・熱電対を一社で揃えられる
温度調節器（温調計）を主力とするデジタル制御機器メーカー。多点調節計やプログラム調節計、電力調整器を組み合わせ、装置の温度制御系をまとめて構成できる。
- •温度調節器の専業メーカーとして国内トップクラス
- •多点・多ゾーン制御に強い
ファインセラミックスの総合メーカー（日本特殊陶業グループ）。エッチャーやプラズマCVD装置向けに、セラミックヒーターと静電チャックを供給する。
- •窒化アルミなど高熱伝導セラミックスの焼結技術
- •静電チャックとヒーターを一体で設計
シーズヒーターを中心とした工業用電気ヒーターと加熱機器の専門メーカー。用途に合わせた特注ヒータの設計・製造に対応する。
- •シーズヒーターの設計・製造に特化
- •形状・容量の特注対応
産業用ヒーター、温度センサ、コントローラを一貫して手掛ける米国メーカー。半導体製造装置向けには、加熱・計測・制御を統合したサーマルソリューションを供給する。
- •ヒーター・センサ・コントローラを垂直統合
- •半導体装置向けの専用ヒータ設計
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