PVA TePla
結晶成長装置と超音波検査装置のドイツ系メーカー。シリコンのCZ引き上げ炉、SiC・AlNのPVT（昇華）成長炉、真空炉、超音波非破壊検査装置を手掛ける。
ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の結晶成長カテゴリでは、CZ法単結晶引き上げ炉とSiC単結晶成長炉を供給するドイツの装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
CZ引き上げ炉・PVT成長炉の両方を供給
化合物半導体の結晶成長装置に強み
超音波検査（SAM）装置も展開
主要製品・ソリューション
結晶成長装置
- •CZ単結晶引き上げ炉
- •SiC/AlN PVT成長炉
検査装置
- •超音波顕微鏡（SAM）
PVA TePlaの製品
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、PVA TePlaを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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