SEMES

サムスン電子系列の半導体製造装置メーカー。洗浄・成膜・エッチング・露光後処理装置でサムスンのメモリ・ロジックFABを支援。韓国最大の装置メーカー。

韓国・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

Semiraiの洗浄・成膜カテゴリでは、Samsungの3D NAND・FinFET FABに最適化した洗浄・スピンコータ・CVD装置を開発・供給する韓国最大の装置メーカーとして参照されます。

企業の強み

Samsung傘下として最先端メモリ・ロジックFABに最適化した装置を開発
スピンコータ・デベロッパ・洗浄装置で韓国トップシェア
3D NAND・FinFET向けの高アスペクト比エッチング・洗浄技術

主要製品・ソリューション

洗浄装置

  • •枚葉式洗浄装置
  • •バッチ洗浄装置

コータ/デベロッパ

  • •スピンコータ
  • •デベロッパ

成膜・エッチング

  • •CVD装置
  • •エッチング装置

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