SPTS Technologies（KLA）
英国ウェールズのニューポートに拠点を置く、KLA傘下の半導体製造装置メーカー。プラズマエッチング（シリコン深掘りエッチングを含む）、HF・XeF₂の気相エッチング、PVD、PECVDなどの装置を、MEMS・先端パッケージング・パワー半導体・RFデバイス向けに供給している。
英国・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semiraiのシリコンエッチャーカテゴリでは、MEMSや先端パッケージング向けのエッチング・成膜装置を手がけるKLA傘下の装置メーカーとして参照されます。
企業の強み
MEMS向けのシリコン深掘りエッチング（DRIE）
先端パッケージングやパワー・RFデバイス向けのPVD・PECVD
HF・XeF₂による気相エッチング
主要製品・ソリューション
エッチング
- •プラズマエッチング装置
- •気相エッチング装置
成膜
- •PVD装置
- •PECVD装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、SPTS Technologies（KLA）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
SPTS Technologies（KLA） のご担当者様へ
このページの掲載内容を貴社で管理できます（企業ページの認領）。情報の修正は無料、詳細掲載や資料掲載は有料プランでご利用いただけます。
※ 税別。有料プランは最低3ヶ月から。 プランの詳細を見る