AMHS（自動搬送システム）メーカー2社
AMHS（自動搬送システム）は、半導体工場内でFOUPなどを自動搬送し、工程間の物流を最適化するシステムです。スマートファブの基盤として重要です。
主要特徴
よくある質問
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代表製品・スペック
天井搬送システム（OHT）
ダイフクのクリーンルーム向け天井走行式の自動搬送システム。FOUP を工程間で搬送する。
| 搬送方式 | 天井走行型（OHT） |
| 主要用途 | 300mm ファブの工程間 FOUP 搬送 |
自動搬送システム（AMHS）
村田機械のクリーンルーム向け自動搬送・保管システム。FOUP の工程間搬送とバッファリングを担う。
| 構成 | 天井走行搬送・保管装置 |
| 主要用途 | クリーンルーム内の FOUP 搬送 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
2社の主要メーカー
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
- •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
- •24時間365日連続稼働の高信頼性システム
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
- •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
- •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
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