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AMHS（自動搬送システム）メーカー2社

AMHS（自動搬送システム）は、半導体工場内でFOUPなどを自動搬送し、工程間の物流を最適化するシステムです。スマートファブの基盤として重要です。

メーカー 2 社関連カテゴリ 2 件

主要特徴

OHT（天井走行台車）・AGVでFOUP入りウェハを自動搬送

人手介在を排除してパーティクル汚染リスクを最小化

MES（製造実行システム）と連携してWIPフローをリアルタイム最適化

先端ファブでは数千台のOHTが24時間連続稼働

搬送時間短縮・装置稼働率向上によりCOO（Cost of Ownership）を改善

AMHSがなければ工場はどうなりますか？▾

人手による搬送ではパーティクル汚染リスクが高まり、クリーンルームの清浄度維持が困難になります。また搬送の遅延・ミスによる装置稼働率低下と生産リードタイム延長が起きます。先端ファブでは人手搬送は現実的でなく、AMHSは必須インフラです。

主要AMHSメーカーは？▾

Murata Machinery（村田機械、日）、Daifuku（大福、日）、Siemens（独）、Swisslog（スイス）などが主要サプライヤーです。OHT車体とソフトウェア制御システムの両方を提供するシステムインテグレーション力が差別化要因です。

製品写真

ダイフク

Launer OHT（天井搬送システム）

ダイフクのクリーンルーム向けOHT（Overhead Hoist Transport）システム。FOUP搬送の自動化で生産効率を向上。

製品写真

村田機械（Muratec）

Shuttle Carrier（AMHS）

村田機械のAMHSシステム。ベイ間・プロセス間のFOUP自動搬送を高速・高精度で実現する。

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。