パッドコンディショナーメーカー2社

パッドコンディショナー（研磨パッド再生装置）とは、CMP研磨パッドの表面を常時再生（コンディショニング）してグレージング（目詰まり）を防ぎ、安定した研磨速度を維持する装置・部品です。ダイヤモンド砥粒を電着したディスクをパッド上で摺動させ、スラリーが保持されるアスペリティ（微小突起）を復元します。研磨パッドとともにCMPの「消耗品」として定期交換が必要で、スラリー保持量・研磨均一性・スループット維持に直結します。