シリンダーキャビネット／BSGS／IGSS
高圧ガス保安法に準拠したシリンダーキャビネットと、特殊材料ガスを大量供給するバルク供給システム（BSGS）。自動搬送ロボット Cdrive を含む IGSS もある。
シリンダーキャビネット／BSGS／IGSSとは
大陽日酸のガス供給システムには、高圧ガス保安法に沿ったシリンダーキャビネットと、特殊材料ガスを大量に供給するバルク供給システム（BSGS）があります。
シリンダーの交換を自動化する搬送ロボット Cdrive を含む IGSS もそろえ、半導体工場への特殊材料ガスの供給に使われます。
主な特長
- •シリンダーキャビネット
- •バルク供給システム（BSGS）
- •自動搬送ロボット Cdrive を含む IGSS
主な仕様
| 供給形態 | シリンダーキャビネット／バルク供給（BSGS） |
|---|---|
| 主要用途 | 半導体工場の特殊材料ガス供給 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・リキード（Air Liquide）FabStream™／ALIM 2 ガスキャビネット | 大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）シリンダーキャビネット／BSGS／IGSS |
|---|---|---|
| 供給形態 | バルク供給（FabStream）／シリンダーキャビネット（ALIM 2） | シリンダーキャビネット／バルク供給（BSGS） |
| 主要用途 | HCl・シラン・N₂O など特殊材料ガスの供給 | 半導体工場の特殊材料ガス供給 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 流量 | 低流量 ～ 3,000 slpm 超（FabStream） | — |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体工場の特殊材料ガス供給
掲載カテゴリ
シリンダーキャビネット／BSGS／IGSSは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）
日本最大の産業ガスメーカー（三菱ケミカルグループ傘下）。半導体向け超高純度特殊ガス（SiH₄・HF・BF₃・Cl₂等）・超純液体窒素・液体ヘリウムを供給。世界20カ国以上に特殊ガス製造・供給拠点を持つ。
ガス供給装置・バルクガス設備のほかの製品
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07