ガス供給・検知システムメーカー7社Fab Gas Systems

産業ガス・特殊ガスのグローバル大手メーカー。半導体製造に不可欠な高純度プロセスガス（成膜・エッチング用）とガス供給インフラを世界的に展開する。

• •特殊ガスでグローバルトップクラス
• •高純度ガス供給インフラに強み
• •前工程全般の幅広いガス製品を展開

産業ガス・特殊ガスの世界大手。半導体向けにはWF₆・NF₃・GeH₄・特殊エッチングガスなど、成膜・エッチング・クリーニングの全工程を支える。

• •半導体向け特殊ガスのグローバルトップサプライヤー
• •Fabオンサイト供給システムによる安定ガス供給
• •特殊ガス精製・分析・混合の一貫ソリューション

日本最大の産業ガスメーカー（三菱ケミカルグループ傘下）。半導体向け超高純度特殊ガス（SiH₄・HF・BF₃・Cl₂等）・超純液体窒素・液体ヘリウムを供給。世界20カ国以上に特殊ガス製造・供給拠点を持つ。

• •半導体向け特殊ガスで日本最大のサプライヤー
• •超高純度ガス（Grade 6N以上）の製造・分析技術
• •オンサイト供給システムでファブインフラを支援

産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。

• •バルクガスと特殊ガスの両方を供給
• •オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制
• •ガス供給設備の設計・施工まで一貫対応

フランスの産業ガス世界大手。半導体製造に使われる超高純度特殊ガス（フッ素・NF3・N2O・H2など）を供給。Lindeと並ぶ二大電子材料ガスメーカーの一角。

• •超高純度NF3（クリーニングガス）・フッ素・希少ガス供給で世界トップ
• •Air Products・Lindeと並ぶ産業ガス三強の一角
• •半導体FABへのオンサイト供給・配管インフラ構築で長期契約

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
• •FOUP・ウェハシッパーなどウェハ保護材料で業界標準

分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。

• •分析・計測機器で国内大手
• •半導体プロセス向けガス分析に強み
• •自動車・環境分野にも展開する総合計測力