エキシマレーザー発振器メーカー3社
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。KrFで248nm、ArFで193nmの波長を生み、DUV露光装置の光源として解像度の基礎を与えます。要求されるのは出力だけでなく、波長の狭帯域化（色収差を抑えるため）とパルスごとのエネルギー安定性で、数千Hzの繰り返しで長時間動作し続ける信頼性も求められます。レーザーアニールやレーザーリフトオフといった加工用途にも使われ、光源そのものが装置性能の上限になるカテゴリです。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
半導体露光用エキシマレーザー光源の大手メーカー。ArF・KrFレーザーでASML・ニコン・キヤノンの露光装置に光源を供給。小松製作所と旭硝子（AGC）の合弁会社。
- •ArF（193nm）・KrFエキシマレーザー光源で世界シェア上位
- •Cymer（Applied Materials傘下）と並ぶ二大光源メーカーの一角
化合物半導体基板（SiC・GaAs）・レーザー光学部品を手掛けるグローバル大手メーカー。2022年にII-VIがCoherentを買収し社名変更、光通信・EUVリソグラフィ関連の光学技術にも強みを持つ。
- •化合物半導体基板（SiC・GaAs）に強み
- •レーザー・光学部品を幅広く展開
レーザと光学機器の専門商社。海外メーカーのエキシマレーザや固体レーザ、計測・解析機器を国内の装置メーカーや研究機関へ供給する。
- •世界のレーザメーカーを横断した品揃え
- •計測から加工までアプリケーション提案
関連カテゴリ
超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社光学系ユニット・UVランプ光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。
メーカー 5 社各種センサ・モータ各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。
メーカー 6 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社