Tropel UltraSort IIとは
Tropel UltraSort II は、Corning の全自動・非接触のウェーハ平坦度測定装置です。斜入射干渉計とロボット搬送を組み合わせています。
2〜8 インチのウェーハに対応し、平坦度、厚さ、反り、SORI のほか、露光装置（ステッパ）での使われ方を想定したシミュレーションも行います。ウェーハの平坦度による選別に使われます。
主な特長
- •斜入射干渉計＋ロボット搬送の全自動機
- •2〜8 インチ対応
- •ステッパシミュレーション機能
主な仕様
| 測定方式 | 斜入射干渉計（非接触・全自動） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 2 ～ 8 インチ |
| 測定項目 | 平坦度・厚さ・反り・SORI・ステッパシミュレーション |
| 主要用途 | ウェーハの平坦度選別 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | コーニング・トロペル（Corning Tropel）Tropel® FlatMaster® MSP | コーニング・トロペル（Corning Tropel）Tropel® UltraSort™ II | KLAPWG5™ |
|---|---|---|---|
| 測定項目 | 平坦度・テーパ・厚さばらつき・反り（SEMI 準拠） | 平坦度・厚さ・反り・SORI・ステッパシミュレーション | 応力による形状変化・厚さばらつき・表裏トポグラフィ |
| 主要用途 | ウェーハ・精密部品の平坦度検査 | ウェーハの平坦度選別 | 3D NAND・DRAM・ロジックの反り・応力管理 |
| 測定方式 | 周波数ステッピング干渉計（非接触） | 斜入射干渉計（非接触・全自動） | — |
| 対応ウェハ径 | 最大 300 mm | 2 ～ 8 インチ | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 方式 | — | — | パターン付きウェーハ形状計測 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハの平坦度選別
- •厚さ・反りの全数検査
掲載カテゴリ
Tropel UltraSort IIは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
コーニング・トロペル（Corning Tropel）
Corning傘下の精密光学計測メーカー。ウェハ平坦度測定・フォトマスク検査用の干渉計・精密光学システムを半導体業界向けに供給する。
平坦度・ウェハ厚測定装置のほかの製品
コーニング・トロペル（Corning Tropel）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07