Kalrez Sahara シリーズとは
Kalrez Sahara シリーズは、デュポンのパーフロロエラストマー（FFKM）製のシール部品です。ドライプロセスでのシールの寿命を延ばすために設計されました。
8085 と 8475 があり、8475 は高温の熱プロセス向けの白色品です。エッチング、アッシング、CVD、熱処理の装置で使われます。
主な特長
- •パーフロロエラストマー（FFKM）
- •8085／8475（高温向け白色品）
主な仕様
| 材料 | パーフロロエラストマー（FFKM） |
|---|---|
| 特徴 | 8475 は高温の熱プロセス向け白色品 |
| 主要用途 | エッチング・アッシング・CVD・熱処理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | バルカー（Valqua）VALQUA ARMOR | DuPont（半導体材料）Kalrez® Sahara™ シリーズ（8085／8475） |
|---|---|---|
| 材料 | 高純度ゴム（独自のゴム変性改質） | パーフロロエラストマー（FFKM） |
| 特徴 | 低ガス透過・低アウトガス・金属フリー | 8475 は高温の熱プロセス向け白色品 |
| 主要用途 | ドライエッチング・CVD・アッシング装置 | エッチング・アッシング・CVD・熱処理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •エッチング・アッシング・CVD・熱処理装置のシール
掲載カテゴリ
Kalrez Sahara シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
DuPont（半導体材料）
化学大手DuPontの電子材料部門。Low-k絶縁材・銅配線CMP材料・ArFフォトレジスト・半導体実装向け接着剤など先端材料を幅広く展開。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07