ハブブレード FTB／CCB シリーズ
アルミ基台付きの東京精密（ACCRETECH）のハブブレード。主にシリコンウェーハのダイシングに使う。
ハブブレード FTB／CCB シリーズとは
FTB／CCB シリーズは、東京精密（ACCRETECH）のハブブレードです。アルミの基台が付いたダイシングブレードで、ウェーハをチップに切り分けるのに使います。
主にシリコンウェーハのほか、GaAs などさまざまなウェーハのダイシングに使われます。
主な特長
- •アルミ基台付きのハブブレード
- •Si・GaAs など各種ウェーハ対応
主な仕様
| ボンド・形状 | ハブブレード（アルミ基台付き） |
|---|---|
| 対応材料 | Si・GaAs など各種ウェーハ |
| 主要用途 | ウェーハのダイシング |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | DISCOZH05（ハブブレード） | DISCONBC-Z シリーズ | 東京精密（Accretech）ハブブレード FTB／CCB シリーズ |
|---|---|---|---|
| ボンド・形状 | 電鋳ボンド・ハブブレード | 電鋳ボンド・極薄ブレード | ハブブレード（アルミ基台付き） |
| 対応材料 | Si・化合物半導体（GaAs・GaP）・酸化物（LiTaO₃） | 半導体ウェーハ・セラミックス・CSP パッケージ | Si・GaAs など各種ウェーハ |
| 主要用途 | ウェーハのダイシング | 深切り込み・溝加工・パッケージ切断 | ウェーハのダイシング |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハのダイシング
掲載カテゴリ
ハブブレード FTB／CCB シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
東京精密（Accretech）
日本の精密計測・半導体製造装置メーカー。ウェーハプロービングシステムおよびダイシング装置で高い技術力を誇る。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07