AD3000T-PLUS

東京精密（ACCRETECH）のダイシングマシン。HUBブレードの寿命を検知して自動交換するABESに対応し、装置停止時間を抑える。

AD3000T-PLUSとは

AD3000T-PLUS は、東京精密（ACCRETECH）の Φ300mm 対応ダイシングマシンです。対向する2軸のスピンドルを斜めに配置した独自の「斜めレイアウト」を採用しており、X軸の無駄な移動を抑えた加工ができます。

この斜めレイアウトは設置面積にも効いていて、従来機4台分のスペースに5台を設置できるとされています。操作とメンテナンスはすべて装置前面から行える設計で、量産ラインでの台数増設を想定した装置です。

スピンドルは標準で 1.8kW・最大 60,000rpm、オプションで 2.2kW の高トルク仕様を選べます。自動ブレード交換システム（ABES）の搭載も可能で、17インチのタッチパネル GUI は同社 AD／SS シリーズと共通の操作系です。

対応ウェハ径	300 mm
スピンドル	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）
軸速度	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s
自動化	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能
設置面積	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置
関連機種	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）
主要用途	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFD6362	東京精密（Accretech）AD3000T-PLUS	Advanced Dicing Technologies（ADT）8030（フルオートマチックダイシングソー）
対応ウェハ径	300 mm	300 mm	最大 12 インチ
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング	QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能	—
スピンドル	—	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）	ツインスピンドル

1機種だけが掲載している項目（5件）

スピンドル構成	対向デュアルスピンドル	—	—
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上	—	—
軸速度	—	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s	—
設置面積	—	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置	—
関連機種	—	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）	—