UF3000EX-e（ウェーハプローバ）

東京精密（ACCRETECH）の全自動ウェーハプローバ。新開発の XY ステージ駆動とアルゴリズムで高いスループットを得る。

UF3000EX-eとは

UF3000EX-e は、東京精密（ACCRETECH）の全自動ウェーハプローバです。ウェーハ上のチップにプローブカードの針を当てて電気的に検査するウェーハテストで使います。

新しく開発した XY ステージの駆動とアルゴリズムで高いスループットを得ています。200〜300mm のウェーハに対応し、特殊なウェーハも扱えます。光学式ターゲットスコープ（OTS）と 15 インチのタッチパネルを備えます。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Precio™ XL（ウェーハプローバ）	東京エレクトロン（TEL）Prexa™	東京エレクトロン（TEL）Prexa™ MS	東京エレクトロン（TEL）Cellcia™	東京エレクトロン（TEL）WDF™ 12DP+	東京エレクトロン（TEL）Precio octo™	東京精密（Accretech）UF3000EX-e（ウェーハプローバ）	アドバンテストHA1200（ダイレベルプローバ）
対応ウェハ径	200／300 mm	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm（200 mm はオプション）	300 mm	—	150／200 mm	200 ～ 300 mm（特殊ウェーハ含む）	—
XY 精度	—	±1.8µm（200mm オプション時 ±1.5µm）	±0.8µm	—	±1.8µm	±2.0µm	—	—
方式	全自動ウェーハプローバ（リニアモーター）	—	—	—	—	—	全自動ウェーハプローバ	個片ダイへの高精度自動プロービング
主な機能	TELPADS-I（高速針痕検査）・Auto Leveling・CoSMOz	—	—	—	—	—	OTS（光学式ターゲットスコープ）・15 インチタッチパネル	—
プロービング荷重	—	300 kg（オプション 450 kg）	600 kg（オプション 1,000 kg）	—	—	—	—	—
主要用途	—	—	—	メモリ・ウェーハレベルバーンイン	—	—	ウェーハテスト（プローブテスト）	—
対象	—	—	—	—	200／300mm ウェーハ・300mm ダイシングフレーム	—	—	チップレットを使うハイエンド SoC

1機種だけが掲載している項目（5件）

精度	XY ±1.8 µm・Z ±5.0 µm	—	—	—	—	—	—	—
セル数	—	—	—	12 または 25	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	N-Shot アライメント（ダイシング前後）	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	超高速針痕自動検査 TELPADS-I	—	—
温度制御	—	—	—	—	—	—	—	テスタ連動の ATC（Active Thermal Control）