ダイシングブレード・マウンタ部品メーカー5

ダイシングブレード・マウンタ部品は、ウェハをチップへ切り分ける工程で使う消耗部材です。ブレードはダイヤモンド砥粒を金属やレジンで結合した極薄の円盤で、その厚み・砥粒径・結合度がカーフ幅とチッピング量を決めます。切削中はホイールを高速回転させながら純水で冷却と切粉排出を行い、摩耗に合わせて刃先位置を補正します。マウンタ側ではウェハをリングフレームへ貼るためのテープと貼付機構が該当し、貼りの精度が切断精度と後工程のピックアップ成功率に影響します。

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主要特徴

ブレードの厚み・砥粒径・結合度がカーフ幅とチッピングを決める
純水による冷却と切粉排出、摩耗に応じた刃先補正が必要
マウンタ側はリングフレームへの貼付テープと貼付機構が該当
貼りの精度が切断精度とピックアップ成功率に影響する

メーカー

5社の主要メーカー

DISCO日本

「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。

ダイシング装置
ダイシングソーレーザソー
グラインダ
ウェーハグラインダ
研磨装置
表面平坦化装置
  • ダイシングソー、グラインダで世界トップシェア
  • 超薄ウェーハ加工の完全ソリューション
会社詳細
東京精密(Accretech)日本

日本の精密計測・半導体製造装置メーカー。ウェーハプロービングシステムおよびダイシング装置で高い技術力を誇る。

プロービングシステム
ウェーハプローバー自動プローブステーション
ダイシング・研削装置
ダイシングソーウェーハ研削装置
  • ウェーハプローバーにおける高精度計測技術
  • ダイシングソーおよび研削装置の製造実績
会社詳細
京セラ日本

ファインセラミックス技術を核とする国内大手メーカー。半導体パッケージ基板・水晶デバイス・電子部品を幅広く展開し、半導体実装の基盤材料を供給する。

パッケージ・電子部品
セラミックパッケージ基板水晶デバイス
  • セラミックパッケージ基板で世界トップクラス
  • 水晶デバイス・電子部品にも強み
会社詳細
旭ダイヤモンド工業日本

ダイヤモンド工具の総合メーカー。半導体向けにはダイシングブレード、ウェーハ用の研削ホイール、CMPパッドコンディショナを供給する。

ダイシング
ダイシングブレードハブブレード
研削・研磨
バックグラインド用ホイールCMPパッドコンディショナ
  • ダイヤモンド工具で世界屈指の総合メーカー
  • ダイシングブレードと研削ホイールの両方を持つ
会社詳細
Advanced Dicing Technologies(ADT)イスラエル

ダイシングソーとダイヤモンドブレードを開発・製造するイスラエルのメーカー。装置と消耗品の両方を自社で持つ点が特徴。

ダイシング装置
ダイシングソー
消耗品
ダイヤモンドダイシングブレードフランジ・治具
  • ダイシングソーとブレードを一体で設計
  • 化合物半導体や脆性材料の切断に強い
会社詳細

関連カテゴリ

ボンディングツール(キャピラリ)

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メーカー 6
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メーカー 4
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メーカー 10
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メーカー 7
テスト用治具・コンタクト部品

テスト用治具・コンタクト部品は、テスタとデバイスの間に入って電気的な接触を作る部品群です。

メーカー 8
真空ポンプ

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メーカー 8
真空排気システム

真空排気システムは、プロセスチャンバの圧力を目的の領域まで下げ、その状態を反応中も維持し続けるためのサブシステムです。

メーカー 7
ウェハキャリア・FOUP・EFEM

ウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。

メーカー 9

関連用語

比較・違いを学ぶ

レーザーダイシングとブレードダイシングの違い(ダイシング方式の比較)
ダイシングはウェハを個々のチップ(ダイ)に切り分ける後工程です。ブレードダイシングはダイヤモンドブレードで機械的に切削する伝統的手法で、汎用性とコストに優れます
ステルスダイシングとブレードダイシングの違い
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