横河電機/装置管理システム(EES)

CELLBrain

SECS/HSMS や PLC を持つ製造装置と製造管理システムをつなぐ横河電機のセルコントローラ。

CELLBrainとは

CELLBrain は、横河電機のセルコントローラ(ソフトウェア)です。半導体や FPD の製造装置と、工場の製造管理システムをつなぎます。

SECS/HSMS の通信機能や PLC を持つ製造装置に接続し、装置のオンライン化や稼働状況の管理を行います。

主な特長

  • •SECS/HSMS・PLC 搭載装置に接続
  • •装置と製造管理システムを仲介

主な仕様

提供形態セルコントローラ(ソフトウェア)
接続対象SECS/HSMS・PLC 搭載の半導体/FPD 製造装置
主要用途装置のオンライン化・稼働管理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

主な用途

  • •製造装置のオンライン化
  • •稼働管理

掲載カテゴリ

CELLBrainは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

メーカー

横河電機

産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。

横河電機 の企業情報 →メーカー公式の製品ページ ↗

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出典・確認した公開情報
最終確認日:2026-10-07
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