iSystem Controllerとは
iSystem Controller は、Applied Materials の小型コントローラです。製造装置の動きを監視しながらデータを集め、資源消費や温室効果ガス排出のレポートを作ります。
1 台で最大 4 台の装置に対応し、Applied 製だけでなく他社製の 200mm・300mm 装置にも取り付けられます。装置とサブファブ（ポンプや除害装置）を同期させ、装置が待機しているあいだはサブファブ機器を省エネモードにします。
SEMI E167・E175 のスリープモード規格に対応し、待機から処理状態へは 2 秒未満で戻ります。エネルギー関連のコストを約 20% 減らせ、3,000 以上の接続実績があります。装置の改造やプロセスの再認定は必要ありません。
主な特長
- •1 台で最大 4 装置
- •他社装置にも対応
- •待機時の省エネ（SEMI E167／E175）
- •温室効果ガスの継続レポート
主な仕様
| 接続数 | 1 台で最大 4 装置 |
|---|---|
| 対応装置 | Applied 製・他社製の 200mm／300mm 装置 |
| 効果 | エネルギー関連コストを約 20% 削減・3,000 接続以上の実績 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ファブとサブファブの省エネ
- •環境データの収集・報告
掲載カテゴリ
iSystem Controllerは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Applied Materials
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。
装置管理システム（EES）のほかの製品
Applied Materialsのほかの製品
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07