CIMVision-semi

半導体工場の製造管理と工程管理を実装する横河電機の MES パッケージ。

CIMVision-semiとは

CIMVision-semi は、横河電機の半導体工場向け MES（製造実行システム）パッケージです。先端の 300mm ウェーハ生産環境での製造管理とプロセス管理を担います。

手作業の工程追跡から全自動の生産ラインまで柔軟に対応し、SEMI の標準化活動にも積極的に参加しています。UNIX、Linux、Windows のいずれでも動作し、データベース設計を公開しているため既存システムと連携しやすい構成です。

300mm・200mm の量産ラインのほか、ASIC ラインや研究用のパイロットラインまで、多品種少量から大量生産までを対象とし、14 社 20 工場での導入実績があります。工程管理、SPC、レシピ管理、装置のオンライン接続、リソグラフィのインラインプロセス監視などのサブシステムを統合し、コスト削減、装置効率と品質の向上、トレーサビリティ、製造期間の短縮に寄与します。

主な特長

•手作業から全自動ラインまで対応
•UNIX・Linux・Windows で動作、データベース設計を公開
•工程管理・SPC・レシピ管理・装置オンライン接続
•14 社 20 工場の導入実績

主な仕様

提供形態	MES パッケージ
対象工場	半導体製造工場
特徴	装置オンライン化（CELLBrain）と組み合わせ可能
主要用途	製造管理・工程管理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	Applied MaterialsSmartFactory MES	横河電機CIMVision-semi
提供形態	パッケージ MES（プラグインで SPC・ディスパッチ等を追加）	MES パッケージ
対象工場	半導体前工程・後工程（ATP）・LED・太陽電池	半導体製造工場
特徴	APC 統合・関連機種 300works	装置オンライン化（CELLBrain）と組み合わせ可能
主要用途	仕掛品追跡・生産順序管理・作業指示	製造管理・工程管理