SECS/GEM(HSMS)とは

SECS/GEM

最終更新:2026-10-03・工場内搬送・自動化|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

SECS/GEM(HSMS)とは?

SECS/GEMとは、半導体製造装置と工場のホストコンピューター(MESなど)の間でデータや命令をやり取りするための、SEMIの通信規格群です。通信の方式を定めるSECS-IとHSMS(TCP/IP)、メッセージの形式を定めるSECS-II、装置の共通の振る舞いを定めるGEMで構成され、300mm工場の自動化を支えています。

定義・解説

SECS/GEM(セックス・ジェム)とは、半導体製造装置と工場のホストコンピューター(MESなど)の間で、データや命令をやり取りするための通信規格の総称です。業界団体SEMIが定めた規格群で、どのメーカーの装置でも共通の方法で工場のシステムにつなげられるようにすることで、半導体工場の自動化を支えてきました。半導体だけでなく、FPDや電子部品、太陽電池の製造装置などでも使われています。

SECS/GEMは、役割の異なる複数の規格で構成されます。SECS-I(SEMI E4)はRS-232のシリアル回線でメッセージを送る方式、HSMS(SEMI E37)はそれをTCP/IPのネットワークで高速に送る方式で、現在はHSMSが主流です。SECS-II(SEMI E5)は、送るメッセージの形式と意味(「ストリーム」と「ファンクション」の番号で分類)を定めます。GEM(SEMI E30)は、装置の状態の管理、イベントの報告、アラーム、遠隔からの命令、処理条件(レシピ)の管理など、すべての装置に共通して求められる振る舞いを定めた規格です。

300mmウェハの工場の全自動化に合わせて、搬送容器(FOUP)の受け渡しやウェハの処理の管理などを定めたGEM300と呼ばれる一連の規格が追加されました。さらに、装置の大量のセンサーデータを高速に収集して、APC(先端プロセス制御)や予知保全に使うために、EDA(Interface A)と呼ばれる別の規格群も使われています。装置が扱うデータの定義を機械で読める形式で記述するSEDD(SEMI E172)は、SECS/GEMでの接続の立ち上げを効率化します。

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よくある質問(FAQ)

SECS/GEMとHSMSの違いは何ですか?▾
SECS/GEMは装置とホストの通信規格の総称です。HSMS(SEMI E37)はその中で、メッセージをTCP/IPのネットワークで送る通信の方式を定めた規格で、以前のシリアル回線を使うSECS-Iに代わって現在の主流になっています。
GEMとは何ですか?▾
Generic Equipment Model(SEMI E30)の略で、装置の状態の管理、イベントの報告、アラーム、遠隔からの命令、レシピの管理など、すべての製造装置に共通して求められる通信上の振る舞いを定めた規格です。GEMに対応していれば、工場のシステムに共通の方法で接続できます。

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