装置管理システム（EES）メーカー2社
装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。チャンバ圧力・RF反射波・ガス流量といった時系列データを常時取り込み、正常時のパターンから外れた挙動を検出するFDC（Fault Detection and Classification）が中核機能になります。加えて、部品の消耗を予測して交換時期を提案する予知保全、レシピの自動微調整を行うAPCへと発展しており、装置を止めずに品質を保つための基盤になっています。
主要特徴
メーカー
2社の主要メーカー
産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。
- •産業計測・制御システムで国内大手
- •半導体ファブ向け計測機器を展開
半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。
- •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
- •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー
関連カテゴリ
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メーカー 3 社