単結晶製造装置（CZ/FZ引上げ）メーカー1社

単結晶製造装置は、多結晶シリコン原料を融解し、種結晶から無欠陥の単結晶インゴットを成長させる装置です。代表的なチョクラルスキー法（CZ法）は石英ルツボ内の融液から結晶を回転引上げし、フローティングゾーン法（FZ法）はルツボを使わず高純度の結晶を得ます。引上げ速度・温度勾配・磁場印加の制御が、酸素濃度・抵抗率・結晶欠陥（COP）を決定し、ウェハ品質の出発点となります。