2.5D封裝是將多顆半導體晶粒,不採取在1片基板上垂直堆疊(3D)的方式,而是並排搭載於矽中介層或RDL(重布線層)橋接等中間層上,並以微細導線進行高密度連接的構裝方式。由於定位介於2D構裝(將晶粒直接排列在封裝載板上的傳統方式)與3D IC(垂直堆疊晶粒並以TSV貫穿連接的方式)之間,因此稱為「2.5D」。
代表例是台積電(TSMC)的CoWoS(Chip on Wafer on Substrate),將GPU晶粒與HBM(高頻寬記憶體)堆疊並排於矽中介層上,用於輝達(NVIDIA)H100、B200等AI加速器。英特爾(Intel)的EMIB(Embedded Multi-die Interconnect Bridge)則僅以埋入封裝載板中的小型矽橋接實現局部高密度連接,是成本更低的2.5D方式。
2.5D封裝的優點在於,無需像3D堆疊那樣處理貫穿導線(TSV)與薄化晶圓,就能將晶片間導線微縮至數μm間距,大幅提高晶片間頻寬。另一方面,中介層帶來的額外成本,以及大面積化所伴隨的翹曲(warpage)控制,則是技術課題。
結合2.5D與3D IC的混合架構(例如在中介層上搭載以3D堆疊的HBM)也很常見,在AI與HPC用先進封裝中兩種技術會併用。EV Group、SUSS MicroTec的晶圓接合設備,以及ASMPT、Besi的黏晶機等,構成2.5D/3D共通的製造基礎設施。