最後更新:2026年10月8日後段製程・先進封裝先進封裝中國大陸:转接板(中介层)

中介層(Interposer)是什麼

Interposer

中介層是用來將多顆晶片並排搭載的中間基板,負責以高密度、短距離連接晶片。它能提供封裝載板(PCB)因導線間距過粗而無法實現的數μm~數十μm 微細導線,讓 GPU 與 HBM 之類的高頻寬連接成為可能。這種構裝方式稱為 2.5D 封裝,TSMC CoWoS 是代表例子。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

中介層(Interposer)是用來將多顆晶片(晶粒)並排搭載的中間基板,負責以高密度、短距離連接晶片之間的導線。當封裝載板(PCB)的導線間距過粗、難以實現晶片間的高速・高頻寬連接時,透過中介層即可實現微細間距(數μm~數十μm)的導線。這種方式稱為「2.5D 封裝」。

使用最廣泛的是矽中介層(Si Interposer),台積電的 CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)技術是其代表。NVIDIA H100・B200 將 GPU 晶粒與 HBM 堆疊並排置於矽中介層上,以 CoWoS 封裝,實現最高 3.35TB/s(H100)的超高頻寬記憶體存取。矽適合微細導線加工,最先進的 CoWoS 中介層上的導線間距已達 1μm 等級。

作為矽中介層的替代方案,RDL(Re-Distribution Layer)中介層(在有機基板上形成重布線層)與玻璃中介層也備受關注。英特爾的 EMIB(Embedded Multi-die Interconnect Bridge)是以埋入封裝載板的小型矽橋進行局部連接的做法。玻璃中介層方面,英特爾已宣布量產化,可望實現大面積化、低成本化與低熱膨脹係數。

製造中介層需要高階的半導體製程。矽中介層由台積電以自有晶圓代工服務提供,使用 EUV/DUV 曝光機、CVD、ALD、CMP、電鍍設備等與前段製程同等級的設備來形成微細導線。具有 TSV 的中介層還要再加上 DRIE 蝕刻、銅填充與晶背研磨等工程。

受 AI・HPC 用 GPU 與加速器的強勁需求帶動,中介層需求正急速擴大。台積電的 CoWoS 產能湧入來自 NVIDIA、AMD、Broadcom 的訂單,供需吃緊的狀況持續見諸報導。中介層用設備市場已成為曝光・沉積・CMP・TSV 相關設備廠商(ASML・Applied Materials・Lam Research・Tokyo Electron)的額外需求來源。

中介層(Interposer)的常見問題

為什麼需要中介層?
因為封裝載板(有機基板)的導線間距達數十μm,過於粗糙,無法像 GPU 與 HBM 那樣以短距離連接數千條規模的導線。矽中介層可以做出數μm 以下的微細導線,因此能確保所需的頻寬。
矽中介層與 RDL 中介層有什麼不同?
矽中介層(CoWoS-S)是在矽晶圓上以 CMOS 製程製作超微細導線,導線密度最高,但成本高,尺寸也受光罩尺寸限制。RDL 中介層(CoWoS-R)由有機系重布線層構成,在成本與大面積化方面較有利,但導線密度較差。
玻璃中介層被寄予什麼期待?
玻璃可用大型面板加工,因此能實現大面積化與降低成本,另外還具有低介電損耗、優異的平坦度,以及熱膨脹係數容易控制等優點。英特爾正以實用化為目標推動,但量產初期的導線密度仍不及矽。

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