Golden Eagle的特點與規格

Golden Eagle 是康特科技（Camtek）的面板檢測・量測設備。支援最大 650 × 650mm 的面板，配備新的花崗岩平台與高性能光學通道。

檢出靈敏度在明場為 0.8µm、暗場為 0.6µm。分別運用附彩色濾鏡的明場・暗場照明與多種倍率，並可依 CAD 資料為每個區域設定檢出演算法。也可執行改變焦距・照明・檢出引擎的連續掃描。

具備針對扇出型封裝重布線層（RDL）檢測的專用演算法，用於面板級封裝的製程管理。